|
تفاصيل المنتج:
شروط الدفع والشحن:
|
| اسم: | الهدف الاخرق التيتانيوم عالية النقاء الهدف التيتانيوم | الكلمات الدالة: | الهدف الاخرق التيتانيوم |
|---|---|---|---|
| تطبيق: | طلاء ، صناعة الإلكترونيات | رتبة: | Gr1 TA1 نقي |
| كثافة: | 4.51 جم / سم 3 | نقاء: | 99.9٪ - 99.999٪ |
| نقاء 1: | 2N8-4N | مادة: | الزركونيوم النقي ، النيوبيوم النقي الهدف |
| إبراز: | هدف أسطواني من الزركونيوم,هدف رش زركونيوم نقي,هدف رشاش نيوبيوم TA1 |
||
قطر 60/65/95/100 * 30/32/40/45 ملم التيتانيوم الهدف aputtering
الهدف جولة التيتانيوم الهدف مخصصة التيتانيوم
| المنتج | هدف التيتانيوم النقي (TI)) |
| نقاء | 2N8-4N |
| كثافة | 4.51 جم / سم 3 |
| طلاء اللون السائد | ذهبي أزرق / وردة حمراء / سوداء |
| شكل | إسطواني |
| الحجم العام | القطر 60/65/95/100 * 30/32/40/45 مم |
عادة سوف نقدم تقرير فحص الجودة مثل هذا مع البضائع ،
مما يدل على التركيب الكيميائي والخصائص الفيزيائية
هدف توريد التيتانيوم المربع ، هدف مستدير من التيتانيوم ، هدف على شكل خاص من التيتانيوم
النقاوة هي أحد مؤشرات الأداء الرئيسية للهدف ،
لأن نقاء الهدف له تأثير كبير على أداء الغشاء الرقيق.
متطلبات الأداء الرئيسية للهدف:
نقاء
النقاوة هي أحد مؤشرات الأداء الرئيسية للهدف ، لأن نقاء الهدف له تأثير كبير على أداء الغشاء الرقيق.ومع ذلك ، في التطبيقات العملية ، متطلبات نقاء الهدف ليست هي نفسها.على سبيل المثال ، مع التطور السريع لصناعة الإلكترونيات الدقيقة ، تم تطوير حجم رقاقة السيليكون من 6 "، 8" إلى 12 "، وتم تقليل عرض الأسلاك من 0.5 ميكرومتر إلى 0.25 ميكرومتر ، 0.18 ميكرومتر أو حتى 0.13 ميكرومتر سابقًا ، كانت درجة النقاء المستهدفة 99.995٪ ، ويمكنها تلبية متطلبات العملية لـ 0.35 ميكرومتر IC ، بينما يتطلب تحضير خط 0.18 ميكرومتر 99.999٪ أو حتى 99.9999٪ لنقاء المادة المستهدفة.
محتوى النجاسة
الشوائب في المواد الصلبة المستهدفة والأكسجين والرطوبة في المسام هي المصادر الرئيسية لتلوث الأغشية المترسبة.الأهداف ذات الاستخدامات المختلفة لها متطلبات مختلفة لمحتويات الشوائب المختلفة.على سبيل المثال ، أهداف الألومنيوم وسبائك الألومنيوم النقية المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات لها متطلبات خاصة لمحتوى الفلزات القلوية ومحتوى العناصر المشعة.
كثافة
من أجل تقليل المسام في المادة الصلبة المستهدفة وتحسين أداء الفيلم المتطاير ، عادة ما يكون الهدف مطلوبًا أن يكون له كثافة أعلى.لا تؤثر كثافة الهدف على معدل الرش فحسب ، بل تؤثر أيضًا على الخصائص الكهربائية والبصرية للفيلم.كلما زادت كثافة الهدف ، كان أداء الفيلم أفضل.بالإضافة إلى ذلك ، فإن زيادة كثافة وقوة الهدف يسمح للهدف بتحمل الإجهاد الحراري بشكل أفضل أثناء الرش.تعد الكثافة أيضًا أحد مؤشرات الأداء الرئيسية للهدف.
حجم الحبوب وتوزيع حجم الحبوب
عادة ما تكون المادة المستهدفة ذات بنية متعددة البلورات ، ويمكن أن يكون حجم الحبوب في حدود ميكرومتر إلى ملليمتر.بالنسبة للمادة المستهدفة نفسها ، يكون معدل رش الهدف بالحبوب الدقيقة أسرع من معدل الحبيبات الخشنة للهدف ؛في حين أن توزيع سمك الطبقة الرقيقة المترسبة عن طريق رش الهدف مع اختلاف حجم الحبيبات الأصغر (التوزيع المنتظم) يكون أكثر اتساقًا.
اتصل شخص: Ms. Grace
الهاتف :: +8613911115555
الفاكس: 86-0755-11111111
