99.999٪ عالية النقاء رش التيتانيوم الهدف Gr1 التجريبية عنصر التيتانيوم

التيتانيوم الهدف 99.999٪ عالية النقاء الاخرق الهدف التجريبي عنصر التيتانيوم

الهدف جولة التيتانيوم الهدف مخصصة التيتانيوم

عادة سوف نقدم تقرير فحص الجودة مثل هذا مع البضائع ،

مما يدل على التركيب الكيميائي والخصائص الفيزيائية

هدف مربع التيتانيوم ، هدف مستدير من التيتانيوم ، هدف شكل خاص من التيتانيوم

النقاء هو أحد مؤشرات الأداء المستهدفة.

نقاوة المادة المستهدفة لها تأثير كبير على أداء الفيلم.

متطلبات الأداء الرئيسية للأهداف:

نقاء

نقاء الهدف من أهم مؤشرات أداء الهدف لأن نقاء الهدف يؤثر بشكل كبير على أداء الفيلم.ومع ذلك ، في التطبيقات الفعلية ، متطلبات نقاء المواد المستهدفة ليست هي نفسها.على سبيل المثال ، مع التطور السريع لصناعة الإلكترونيات الدقيقة ، تم توسيع حجم رقاقة السيليكون من 6 "، 8" إلى 12 "، تم تقليل عرض الأسلاك من 0.5 ميكرومتر إلى 0.25 ميكرومتر ، 0.18 ميكرومتر ، و 0.13 ميكرومتر. سابقًا ، النقاء المستهدف كان 99.995٪.

محتوى النجاسة

المصدر الرئيسي للفيلم المترسب هو الأكسجين ورطوبة المواد الصلبة والمسام المستهدفة.أهداف التطبيقات المختلفة لها متطلبات مختلفة لمستويات الشوائب المختلفة.على سبيل المثال ، أهداف الألومنيوم النقي وسبائك الألومنيوم المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات لها متطلبات خاصة لمحتوى الفلزات القلوية ومحتوى العناصر المشعة.

كثافة

من أجل تقليل مسام المواد الصلبة المستهدفة وتحسين أداء الأفلام المتناثرة ، يجب أن تكون الأهداف عادةً أكثر كثافة.لا تؤثر الكثافة المستهدفة على معدل الرش فحسب ، بل تؤثر أيضًا على الخصائص الكهربائية والبصرية للفيلم.كلما زادت كثافة الهدف ، كان أداء الفيلم أفضل.بالإضافة إلى ذلك ، عندما يتم رفع كثافة وكثافة الهدف ، يمكن للهدف أن يتحمل الضغط الحراري أثناء الرش.الكثافة هي أحد مؤشرات الأداء المستهدفة.

توزيع حجم وحجم الحبوب

عادةً ما يكون الهدف متعدد البلورات ، وقد يكون حجم الجسيمات في حدود ميكرومتر إلى مليمتر.في حالة نفس الهدف ، يكون معدل الرش للهدف دقيق الحبيبات أسرع من معدل الرش للهدف ذي الحبيبات الخشنة ، بينما يكون للترسيب الرشاش لحجم الجسيمات الأصغر (توزيع منتظم) توزيع سمك موحد (منتظم) .توزيع.